摘要:2容柵傳感器測(cè)量原理在動(dòng)?xùn)艝琶婢幪?hào)為A~H發(fā)射電極上分別加上8個(gè)等幅、同頻、相位依次相差π/4的方波激勵(lì)電壓信號(hào)ui(t)(i=0,1,2,……,7)。每組編號(hào)相同的發(fā)射極都加以相同的激勵(lì)信號(hào),經(jīng)過(guò)兩對(duì)電容耦合在接收極上形成容柵電壓信號(hào)u0(x,t)。由于各組中序號(hào)相同的發(fā)射極和反射極的相對(duì)位置相同,所以可以將48個(gè)發(fā)射極和對(duì)應(yīng)的反射極
2 容柵傳感器測(cè)量原理
在動(dòng)?xùn)艝琶婢幪?hào)為A~H發(fā)射電極上分別加上8個(gè)等幅、同頻、相位依次相差π/4的方波激勵(lì)電壓信號(hào)ui(t)(i=0,1,2,……,7)。每組編號(hào)相同的發(fā)射極都加以相同的激勵(lì)信號(hào),經(jīng)過(guò)兩對(duì)電容耦合在接收極上形成容柵電壓信號(hào)u0(x,t)。由于各組中序號(hào)相同的發(fā)射極和反射極的相對(duì)位置相同,所以可以將48個(gè)發(fā)射極和對(duì)應(yīng)的反射極板間的電容簡(jiǎn)化為c1(x)到c8(x)的8個(gè)電容器。Cf代表反射極與接收極相互耦合之后形成的電容器,由于接收極在動(dòng)?xùn)乓苿?dòng)方向上的長(zhǎng)度恰好為一組反射極長(zhǎng)度的整數(shù)倍,又由于反射極是周期性排列的,所以接收極和反射極的相互覆蓋面積不隨位移變化,即Cf為一個(gè)常數(shù)。圖2所示為其等效電路圖。
容柵工作時(shí),施加發(fā)射電極上的周期激勵(lì)信號(hào),通過(guò)發(fā)射極與反射極、反射極與接收極兩對(duì)電容耦合,在接收極上形成合成信號(hào)。傳感器輸入、輸出信號(hào)與各電極之間電容耦合關(guān)系如圖3。
一組激勵(lì)信號(hào)ui(t)(i=0,1,2,……,7)通過(guò)一組電容ci(x)(i=0,1,2,……,7)和定值電容Cf耦合后,得到傳感器的輸出信號(hào)u0(x,t)。不考慮激勵(lì)信號(hào)的輸出阻抗,并作歸一化處理,可得:
式中,k為一常系數(shù),正負(fù)由動(dòng)?xùn)藕挽o柵的相對(duì)運(yùn)動(dòng)方向決定。
從公式(5)可知,輸出信號(hào)u0(x,t)的電位相與容柵傳感器的位移有一一對(duì)應(yīng)關(guān)系(在一個(gè)周期內(nèi)是單值函數(shù)),調(diào)相信號(hào)是一個(gè)周期信號(hào),動(dòng)?xùn)藕挽o柵每相對(duì)運(yùn)動(dòng)一組發(fā)射極的寬度,調(diào)相信號(hào)變化一個(gè)周期。根據(jù)這個(gè)原理可以通過(guò)鑒相器鑒別調(diào)相信號(hào)的相位變化,從而推算出動(dòng)?xùn)藕挽o柵的相對(duì)位移。同時(shí)還可以通過(guò)可逆計(jì)數(shù)器記錄輸出信號(hào)周期變化數(shù),實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)距離的測(cè)量。接收極上的輸出信號(hào)并不能直接送鑒相電路使用,在這之前還需要經(jīng)過(guò)解調(diào)、濾波、放大和整形,形成方波,最后通過(guò)鑒相器輸出位移信息送顯示。圖4為鑒相型容柵傳感器的測(cè)量原理圖。
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